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製品紹介

ヒーター

昇温特性や温度均一性について、お客様に最適なヒーターを提供します。

ヒーター技術

クリエイティブテクノロジーでは、大きく分けて2種類のヒーターを製作しています。

1つは、ポリイミドヒーターで、発熱体をポリイミドで絶縁したシート状のヒーターです。

もう1つはセラミックスヒーターです。用途により、アルミナタイプと窒化アルミで製作いたします。

ヒーター単体はもちろん、制御電源温度検出機構の提案、静電チャック等との複合技術化も合わせて提案させていただきます。

特長
ポリイミドヒーター

@熱応答性良好

ポリイミドヒーターは薄く、熱容量が小さいため発熱体からポリイミド表面まで素早く熱が伝わります。
常用200℃(MAX:250℃)の範囲で大気,真空で使用可能。

A低アウトガス

ポリイミドヒーターはシリコーンラバーヒーターのように導通不良の原因となるシロキサンの発生がなく、アウトガスも非常に少ないヒーターです。

B高均熱性

発熱体である金属箔を面内に均一にパターニングすることでヒーター面積に対しての発熱面積を大きくすることが可能です。これにより加熱ムラが少なく均熱性の高いヒーターとなります。

Cゾーン制御

一枚のポリイミドフィルムに複数の発熱エリアをパターニングすることできます。これにより面内温度に分布をつけたり、面内温度均一性をより高精度にすることが可能です。

D少ロット対応可能

寸法、形状、出力にあわせて設計、製作いたします。


セラミックスヒーター

@高温仕様

最高使用温度500℃。大気,真空で使用可能。

Aサーマルショック耐性

熱衝撃に強く、急加熱、急冷却が可能です。

B高均熱性

90W/m・K以上と熱伝導性の高い窒化アルミを使用。熱放射率、熱伝導、均熱性が高い。

Cゾーン制御

一枚のセラミックプレートに複数の発熱エリアをパターニングすることできます。これにより面内温度に分布をつけたり、面内温度均一性をより高精度にすることが可能です。

D少ロット対応可能

寸法、形状、出力にあわせて設計、製作いたします。

昇温データ (参考値)
昇温プロファイル

ポリイミドヒーターは熱容量が小さく、被加熱物へ効率良く熱を伝えることができます。

下図は標準的なポリイミドヒーターを被加熱物無で駆動させたときの表面温度プロファイルです。


試験概要
外形寸法 100×100mm
電圧 100V
電流 1.0A (常温時)
電力密度 1.0W/cm2
条件 フリー(被加熱物なし)
使用雰囲気 大気中

主な用途
  • 半導体製造工程
    (搬送用, 貼り合せ用, 検査/測定用, その他)
  • ディスプレイ製造工程
    (搬送用, 貼り合せ用, 検査/測定用, その他)
製品例
ポリイミドヒーター
外形寸法 φ300mm
構成材質 加熱面:ポリイミド樹脂, 発熱体:SUS
加熱対象 Si ウェハ (200℃)
使用雰囲気 真空中
給電部 給電リボンタイプ(端子部SUS)

セラミックスヒーター
外形寸法 φ300mm
構成材質 加熱面:窒化アルミ, 発熱体:Pt系材料
加熱対象 Si ウェハ (400℃)
使用雰囲気 真空中
給電部 給電リボンタイプ(端子部Pt)