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製品紹介

AEセンサ

装置内部の変形や破壊から生じるAE波を分析することで故障予知が可能です。
※AE : Acoustic Emission

AEセンサ技術

AE(Acoustic Emission)は対象物が変形する際に弾性波を放出する現象であり、この弾性波をAEセンサで検出します。

検出波形を分析、スペクトラム解析により故障予知ができます。

従来は高温環境でウェーブガイドを使用して測定していましたが、高耐熱なAEセンサでは直接対象物に接触させることができます。

センサヘッドの形状を薄型に加工しました。既存設備や隙間への挿入が容易となります。

特長

@広帯域高感度センサ

AEセンサは原子レベルの微小振動をとらえることが可能です。

高感度に対象物の欠陥、亀裂を観測します。

A耐熱性

AEセンサの圧電素子は一般的なPZTよりもキュリー点が高く、プリアンプの併用で、高温でも安定して使用できます。

B薄型構造

薄型の圧電素子を挟んだ構造となっており、センサヘッドは従来の構造に対して非常に薄く、約2mmとなっています。

薄型AEセンサ
仕様(ヘッド部)
外形寸法 ヘッド:W12×H2(MAX)×D30(MAX)
ケーブル:Φ6×L100
重量 約40g
周波数特性 100kHz〜1MHz(±10dB)
感度 32±3dB
使用温度範囲 0〜150℃
出力形式 差動出力(ディファレンシャル)
SMAコネクタ

周波数特性

※本データは参考データであり、製品特性を保証するものではありません。

※周波数特性評価(絶対感度校正法)は出荷試験にて実施します。

主な用途
  • 配管の目詰まり検知
  • モーターの異常検知
  • 炉内の欠陥検知
  • 半導体製造プロセスにおける異常放電
共同開発

本製品は産業技術総合研究所と共同開発しています。