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評価技術
機能の全てが「ひとつ」になっていること
私どもの製品は、とても複雑な構成を用いた構造物です。これらがアセンブリされ、きちんと必要な機能を満たすべく、「ひとつ」になっているかどうかをしっかりと検査し見極めなくてはなりません。

そして、わが社における製品は、多くの検査を経て完成へと向かいます。
最終検査にいたるまでには、幾度と無くさまざまな評価試験を実施しなくてはなりません。

▲各種検査装置
▲三次元測定プローブ
わが社で実施する評価・分析は、2D・3D測定や表面粗さ膜厚測定評価などの形状評価はもとより、電気特性評価や真空評価 温度評価や各種特殊分析など、様々な角度から検査を行います。

これにより、わが社では静電チャックの単なる製造に限定されず、お客様の実使用環境により近い形で、複合的な検査、評価を一貫して行うことができるのです。
▲測定装置

主な検査・評価項目
区分 特徴
形状評価 2D・3D測定器による形状寸法測定
皮膜厚み 表面粗さ
CCD マイクロスコープ など各種測定器
電気特性評価 テストチャンバー RFチャンバー など
各種電気特性測定機器
真空評価 真空リーク、到達真空度、ガス放出特性 など
温度評価 IRサーモグラフィによる表面温度分布測定
各種測温ツールを用いた温度分布測定 など
特殊分析 SEM、EPMA、蛍光X線分析装置、ICP発光分光分析装置 など