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加工技術
多種多様な材料を高精度で提供
私どもは、多種多様な材料を多種多様な形状へと加工することができます。

私どもの手がける「静電チャック」や「イオン機器部品」をはじめとする半導体製造装置部品には、様々な素材を様々な形状に加工した、さらに細かな部品が組み込まれています。
▲金属加工サンプル
▲樹脂加工サンプル

これら部品の寸法管理は、ミクロンレベルにまで達します。各素材の特性を十分に理解した上で、アセンブリすることを前提にした特殊精密加工を行います。
▲高融点材料微細加工サンプル
▲セラミックス微細加工サンプル

加工可能な材質
加工可能な材質 区分 代表例
各種非鉄金属 アルミニウム合金 チタン合金 など
樹脂材料 ポリイミド系 ナイロン系 フッ素系 など
高純度の高融点金属材料 タングステン モリブデン タンタル など
高純度のセラミックス材料 アルミナ ジルコニア チッ化アルミ サファイア など