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製品紹介

設計から製造までの一貫対応能力と、お客様のニーズにジャストフィットする提案力で、お客様の製品に新たな付加価値を創出します。

製品例とそれらを支える要素技術
  静電チャック ヒーター Ion Pad 静電容量
センサ
AE
センサ
各種
制御技術
位置確認機能付
エンドエフェクタ
     
デチャック機構付
エンドエフェクタ
       
温度制御機能付
静電チャック
     
在荷センサ付
自己粘着ハンド
     
自己粘着型
フレキシブルヒーター
     

位置確認機能付きエンドエフェクタ
特長

本製品は、搬送用ロボットハンドに静電チャックと静電容量センサを用いたウェハ位置確認機能を搭載した次世代ハンドリングシステムです。

ウェハ位置確認の精度は、一般的なプリアライナーと同等レベルの分解能を実現し、搬送ロボットが把持した瞬間にウェハ位置の確認が可能です。

また、検出回路には、ウェハ位置データ、ウェハ在荷、ウェハ把持状態を出力するポートを搭載することができる為、検出された位置データを用いて搬送ロボットがウェハを置く位置を自動調整したり、適切に把持されていないウェハが混在した際に安全に搬送ロボットを停止させることができます。

今までのプリアライナーにかかっていた「時間、コスト、エリア」を一気に解消するシステム製品です。

現在ご使用の搬送ロボットへも導入検討が可能です。


要素技術

静電チャック ヒーター Ion Pad 静電容量
センサ
AE
センサ
各種
制御技術
     
導入事例

導入効果 省エネルギー, 省スペース, 設備高速化, 異常検出
導入例 ウェハ検査装置用ロボットハンド, ウェハアライメントシステム
使用環境 クリーンルーム
デチャック機構付エンドエフェクタ
特長

本製品は、静電チャックを用いた搬送システムです。

静電チャックは、「静電気により吸着する」という制御しづらい力を使用している為、扱いが難しいと言われてきました。

そんな扱いの難しい静電チャックを弊社独自の電極設計技術や薄膜表面成形技術、電源電圧・極性反転制御技術を駆使することにより、ウェハ・ガラス・カーボン等が混在しても最適なチャック/デチャックを実現することができます。

帯電が激しくデチャックしづらい環境であっても、静電チャック面を動作させて物理的に引きはがす機構も実装でき、安定した搬送を実現します。


要素技術

静電チャック ヒーター Ion Pad 静電容量
センサ
AE
センサ
各種
制御技術
       
導入事例

導入効果 省エネルギー, 設備高速化
導入例 ウェハ搬送装置, CFRP搬送装置
使用環境 クリーンルーム, 一般環境
温度制御機能付静電チャック
特長

本製品は、静電チャックにヒーター機能を搭載したものです。

これによりワークを加熱させながらの搬送や、プロセス中のウェハの温度を制御することができ、またヒーターを静電チャック電極近傍に配置することで熱応答の向上も期待できます。

静電チャックが使用される環境や使用温度、昇温スピード、高熱均一性などの条件から設計、製作いたします。

特にウェハの熱均一性を向上させるためにガス流路や静電チャック表面のエンボス化、ヒーターのマルチゾーン化も対応いたします。

ポリイミド静電チャック+ポリイミドヒーター、セラミック静電チャック+セラミックヒーターなどの組み合わせが可能です。


要素技術

静電チャック ヒーター Ion Pad 静電容量
センサ
AE
センサ
各種
制御技術
     
導入事例

導入効果 省スペース, 設備高速化, 均熱性向上
導入例 イオンドーピング装置用チャック, 貼り合わせ装置
使用環境 プロセスチャンバー内(真空, プロセスガス雰囲気), 使用温度 : <250℃
在荷センサ付自己粘着ハンド
特長

本製品は、IonPadを用いた搬送システムです。

IonPadは自己粘着性を持ったものであり、様々な形状を作ることが可能です。

また、吸着面を物理的に引きはがす機構により、デチャックすることもできます。

静電容量センサを組み込むことにより、ワークの在荷確認を検出できるようになり、搬送中のワーク落下検出やデチャック時のワークの引っ掛かり等の異常検知も可能です。

更に静電容量の変化があるワークであれば、チャックした時にワークの種類を判別し、仕分動作をさせるということも可能です。

検出信号の出力もできるので、異常発生頻度カウントを用いた消耗品交換時期表示の様な応用にも対応可能です。


要素技術

静電チャック ヒーター Ion Pad 静電容量
センサ
AE
センサ
各種
制御技術
     
導入事例

導入効果 省エネルギー, 省スペース, 設備高速化, 異常検出
導入例 ガラス基板搬送装置, 貼り合わせ装置
使用環境 チャンバー内(大気/真空), 一般環境
自己粘着型フレキシブルヒーター
特長

本製品は自己吸着性を持つIonPadにポリイミドヒーターを搭載したもので、ポリイミドヒーター同様に薄くフレキシブルです。

ポリイミドヒーターに実装したIonPadにてガラスやチャンバーなどの壁面、配管などに接着剤や固定具を使わずに簡単にセッティングでき、取り外しが容易です。

加熱対象に密着するため効率が良く、接着剤などを使わないため何度もセッティング場所を変更することができます。

取付け取り外しが容易なため実験設備やエンドエフェクターへの一時的なヒーター機能の追加、チャンバービューポートの保温といった用途が可能です。

形状やサイズ、出力など設計からカスタム対応いたします。


要素技術

静電チャック ヒーター Ion Pad 静電容量
センサ
AE
センサ
各種
制御技術
     
導入事例

導入効果 省スペース, 防汚
導入例 半導体製造装置(チャンバー側壁加熱)
使用環境 プロセスチャンバー内(真空, プロセスガス雰囲気), 使用温度 : <250℃