ヒーター

昇温特性や温度均一性について、お客様に最適なヒーターを提供します。

ヒーター技術

クリエイティブテクノロジーでは、大きく分けて2種類のヒーターを製作しています。
1つは、ポリイミドヒーターで、発熱体をポリイミドで絶縁したシート状のヒーターです。
もう1つはセラミックスヒーターです。用途により、アルミナタイプと窒化アルミで製作いたします。
ヒーター単体はもちろん、制御電源温度検出機構の提案、静電チャック等との複合技術化も合わせて提案させていただきます。

特徴

①熱応答性良好
ポリイミドヒーターは薄く、熱容量が小さいため発熱体からポリイミド表面まで素早く熱が伝わります。
常用200℃(MAX:250℃)の範囲で大気,真空で使用可能。
②低アウトガス
ポリイミドヒーターはシリコーンラバーヒーターのように導通不良の原因となるシロキサンの発生がなく、アウトガスも非常に少ないヒーターです。
③高均熱性
発熱体である金属箔を面内に均一にパターニングすることでヒーター面積に対しての発熱面積を大きくすることが可能です。これにより加熱ムラが少なく均熱性の高いヒーターとなります。
④ゾーン制御
一枚のポリイミドフィルムに複数の発熱エリアをパターニングすることできます。これにより面内温度に分布をつけたり、面内温度均一性をより高精度にすることが可能です。
⑤少ロット対応可能
寸法、形状、出力にあわせて設計、製作いたします。