制御技術

弊社の静電チャックやヒーターを制御するために様々な技術を開発しています。

静電チャック制御電源

主な機能

①警報
内部電源保護、および負荷保護の為、出力が警報設定値以上になった場合に動作します。
・過電流警報
±電源共に、定格電流+約5%以上の電流が1秒間流れた場合、出力がOFFされます。警報表示LEDが点灯すると共に、外部制御している場合は警報動作中信号が出力されます。
・過電圧不足警報
±電源共に、定格電圧+約4%以上の出力電圧を1秒間検出した場合に出力がOFFされます。警報表示LEDが点灯すると共に、外部制御している場合は警報動作中信号が出力されます。
・出力電圧不足警報
±電源共に、設定電圧の約80%以下の出力電圧を1秒間検出した場合に出力がOFFされます。警報表示LEDが点滅すると共に、外部制御している場合は警報動作中信号が出力されます。
*過電圧・出力不足警報はCTPS-3KV2AFのみです。

②デチャックアシスト機能
出力OFF時に静電チャックとワーク間に発生する残留電荷を軽減させる機能です。
・強制接地
出力OFF時にグラウンドに接地することで残留電荷を軽減させます。
・極性反転
強制接地後に出力電圧の逆電圧をかけることで、ワークの剥離が有利になります。逆電圧の電圧と時間を設定可能です。
*極性反転はCTPS-3KV2AFのみです。

③極性切替機能
安定した把持力を得るため内部電極に印加する電圧極性を切り替える機能です。Localの場合は、スイッチでOUT1/2の出力電圧の極性を切り替えられます。Remoteの場合は、外部から信号を入力することでOUT1の出力電圧の極性を選択できます。


電極パターン・Ion Padパターン

把持する対象に合わせて、静電チャックの電極パターンやIon Padパターンを弊社で設計いたします。用途にあわせたご選択が可能です。

電極パターン(例)

Ion Padパターン(例)


リフトピン機構

デチャック機能をより速く応答させるために、リフトピン構造を用意しています。物理的にワークをデチャックする機構なので、デチャックエラーがより少なくなります。