デチャック機構付エンドエフェクタ

特長

本製品は、静電チャックを用いた搬送システムです。
静電チャックは、「静電気により吸着する」という制御しづらい力を使用している為、扱いが難しいと言われてきました。
そんな扱いの難しい静電チャックを弊社独自の電極設計技術や薄膜表面成形技術、電源電圧・極性反転制御技術を駆使することにより、ウェハ・ガラス・カーボン等が混在しても最適なチャック/デチャックを実現することができます。
帯電が激しくデチャックしづらい環境であっても、静電チャック面を動作させて物理的に引きはがす機構も実装でき、安定した搬送を実現します。

導入事例
導入効果 省エネルギー, 設備高速化
導入例 ウェハ搬送装置, CFRP搬送装置
使用環境 クリーンルーム, 一般環境