位置確認機能付エンドエフェクタ

特長

本製品は、搬送用ロボットハンドに静電チャックと静電容量センサを用いたウェハ位置確認機能を搭載した次世代ハンドリングシステムです。
ウェハ位置確認の精度は、一般的なプリアライナーと同等レベルの分解能を実現し、搬送ロボットが把持した瞬間にウェハ位置の確認が可能です。
また、検出回路には、ウェハ位置データ、ウェハ在荷、ウェハ把持状態を出力するポートを搭載することができる為、検出された位置データを用いて搬送ロボットがウェハを置く位置を自動調整したり、適切に把持されていないウェハが混在した際に安全に搬送ロボットを停止させることができます。
今までのプリアライナーにかかっていた「時間、コスト、エリア」を一気に解消するシステム製品です。
現在ご使用の搬送ロボットへも導入検討が可能です。

導入事例
導入効果 省エネルギー, 省スペース, 設備高速化, 異常検出
導入例 ウェハ検査装置用ロボットハンド, ウェハアライメントシステム
使用環境 クリーンルーム