温度制御機能付静電チャック

特長

本製品は、静電チャックにヒーター機能を搭載したものです。
これによりワークを加熱させながらの搬送や、プロセス中のウェハの温度を制御することができ、またヒーターを静電チャック電極近傍に配置することで熱応答の向上も期待できます。
静電チャックが使用される環境や使用温度、昇温スピード、高熱均一性などの条件から設計、製作いたします。
特にウェハの熱均一性を向上させるためにガス流路や静電チャック表面のエンボス化、ヒーターのマルチゾーン化も対応いたします。
ポリイミド静電チャック+ポリイミドヒーター、セラミック静電チャック+セラミックヒーターなどの組み合わせが可能です。

導入事例
導入効果 省スペース, 設備高速化, 均熱性向上
導入例 イオンドーピング装置用チャック, 貼り合わせ装置
使用環境 プロセスチャンバー内(真空, プロセスガス雰囲気), 使用温度 : <250℃