自己粘着型フレキシブルヒーター

特長

本製品は自己吸着性を持つIonPadにポリイミドヒーターを搭載したもので、ポリイミドヒーター同様に薄くフレキシブルです。
ポリイミドヒーターに実装したIonPadにてガラスやチャンバーなどの壁面、配管などに接着剤や固定具を使わずに簡単にセッティングでき、取り外しが容易です。
加熱対象に密着するため効率が良く、接着剤などを使わないため何度もセッティング場所を変更することができます。
取付け取り外しが容易なため実験設備やエンドエフェクターへの一時的なヒーター機能の追加、チャンバービューポートの保温といった用途が可能です。
形状やサイズ、出力など設計からカスタム対応いたします。

導入事例
導入効果 省スペース, 防汚
導入例 半導体製造装置(チャンバー側壁加熱)
使用環境 プロセスチャンバー内(真空, プロセスガス雰囲気), 使用温度 : <250℃